應(yīng)用范圍
離子源口徑:中17cm
可調(diào)仰角:±20°(基座自帶刻度指針)
離子?xùn)|能量:100-1000eV連續(xù)可調(diào)
最大離子束流:500mA
束能量均勻區(qū):2中900mm(距源出口900mm處)
束能量不均勻性:≤±10%(距源出口900mm處)
工作氣體:氬氣(Ar)、氧氣(0)
工作氣壓參考范圍:0.5-2.0x10-2Pa(推薦0.8-1.5x10-2Pa)
安裝方式:內(nèi)裝
尺寸:251mmx309.5mm
